EV-PA500 是日本荏原制作所（EBARA）推出的一款超小型、輕量型空冷式干式真空泵，專為實(shí)驗(yàn)室、分析儀器及輕型工業(yè)應(yīng)用設(shè)計(jì)

一、核心參數(shù)

• 抽氣速度：500 L/min (18 cfm)；氣鎮(zhèn)開啟時(shí)：430 L/min

• 極限真空：0.5 Pa (氣鎮(zhèn)開啟時(shí)：2.0 Pa)

• 冷卻方式：空冷（無需冷卻水）

• 電源：單相 100–240 VAC, 50/60 Hz

• 功耗：0.27 kW（極限真空下）

• 重量：21 kg

• 尺寸 (W×L×H)：189 × 482 × 272 mm

• 噪音：58 dB(A)

• 進(jìn)氣 / 排氣口：NW25 快裝接口

二、主要特點(diǎn)

1. 無油潔凈真空：采用多級羅茨（Roots）非接觸轉(zhuǎn)子結(jié)構(gòu)，無油，避免污染，適合對清潔度要求高的場景。

2. 免維護(hù)設(shè)計(jì)：無密封件磨損，無需年度保養(yǎng)，大幅降低使用成本。

3. 便攜節(jié)能：體積小、重量輕，支持移動使用；超低功耗（<300W）。

4. 低噪低震：運(yùn)行安靜平穩(wěn)（58 dB），適合實(shí)驗(yàn)室環(huán)境。

5. 寬電壓適配：通用電壓（100-240V），即插即用。

三、典型應(yīng)用場景

• 分析儀器：電子顯微鏡（SEM/TEM）、質(zhì)譜儀（MS）、表面分析儀、殘余氣體分析儀（RGA）

• 半導(dǎo)體 / 科研：小型負(fù)載鎖（Load Lock）、真空手套箱、真空傳輸系統(tǒng)

• 工業(yè) / 檢測：檢漏設(shè)備、真空吸附、小型鍍膜、真空脫氣

• 移動作業(yè)：便攜式真空系統(tǒng)、野外 / 現(xiàn)場測試設(shè)備